特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內，存有內容物時，無論內容量多少，在該容器儲存場地2m內，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。20 世紀 80 年代，電子產 業的興起推動特種氣體的需求提高，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內 企業原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨立的氣體公司，國內特種氣體市 場逐步發展起來。
特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。
特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；
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